四极质谱计在高压力下的测量方法

摘要

四极质谱计是一种分压力测量仪器,其线性上限一般为10<'-3>Pa。本文通过对影响四极质谱计测量上限的因素进行分析,得到高压力下的分压力计算方法,并通过实验验证了该方法的可行性,得出的结论对高压力下四极质谱计的应用具有一定的参考价值。