痕量六氟化硫气体标准物质制备及检测技术研究

摘要

本文介绍了六氟化硫气体标准物质的用途以及对六氟化硫气体标准物质的需求.本项目采用称量法制备了0.5×10-6(mol/mol)氮中六氟化硫气体标准物质,并通过气相色谱法进行了分析验证.实验数据分析表明所研制的六氟化硫气体标准物质量值准确、均匀性及稳定性良好.