表面处理与陷阱参数对可加工陶瓷在真空中沿面闪络特性影响的研究

摘要

对一种具有良好加工性能以及表面耐电特性的低熔点可加工微晶玻璃陶瓷可以应用于真空绝缘的研究背景，采用氢氟酸对不同成分的试样进行了表面腐蚀处理，分析了表面酸洗对于不同试样表层陷阱能量分布的影响；并测量了处理前后试样的表面耐电情况；分析了材料表面陷阱密度对沿面闪络特性的影响。发现可加工陶瓷材料表面存在的玻璃相结构是造成材料表面浅陷阱大量存在的重要原因；浅陷阱的存在对材料沿面闪络特性电压有着不利影响，是造成闪络电压分散性大的重要因素。通过氢氟酸处理可以减少材料表面的玻璃相结构，从而降低可加工陶瓷表面的浅陷阱能量分布，提高其沿面闪络电压的稳定性。