创伤恢复系统压力传感器研制及其温度性能研究

摘要

本文介绍了一种用于便携式创伤恢复系统压力控制的,0KPa～-50KPa硅压力传感器的结构设计、制作版图设计及制作工艺。文中对通过温度补偿改善该传感器的温度性能研究进行了详细介绍。