高反射率Mo/B4C多层膜研究

摘要

Mo/B4C多层膜是6.7～8nm波段高反射率反射镜较好的材料组合，用遗传算法优化设计了Mo/B4C多层膜，得到了相应的结构参数，采用直流磁控测射方法实现了Mo/B4C多层膜的制作。运用同步辐射光原完成了Mo/B4C多层膜反射率的测量，结果表明在7.025nmth Mo/B4C多层膜的近正入射反射率为21％。