基于FPGA的等离子体密度自动诊断系统

摘要

本文提出了一种基于FPGA的等离子体静电探针自动检测系统的总体设计方案及其硬件实现方法。该系统的外围接口电路采用微伏放大模块和隔离放大模块,提高了信号采集的精度,并有效克服了各种干扰。信号的采集与处理通过Verilog HDL语言描述,并在Cyclone系列可编程逻辑器件FPGA上实现,提高了等离子体静电探针参数诊断的效率。得到了放电气压0.25Pa、射频13.56MHz、功率200W条件下石英管内的空气等离子体密度和电子温度。