复杂微系统的端点特性建模理论

摘要

复杂微系统的模拟要求建立统一的,适合于植入电网络仿真器计算的系统级模型.以热力学概念作为通用理论框架,建立多畴耦合微系统通用模型的-般性理论.利用热力学共轭参量"流"和"势"统一表达从属于不同物理域子系统的端点特性,可建立各个子系统多端口组件模型.结合广义的Kirchhoffian网络理论,建立适合于电网络仿真器计算的MEMS系统级模型.便于对MEMS系统进行反复模拟和优化设计.以静电微泵为例,阐述了这一建模方法的有效性.