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薄膜楔形压痕脱层试验中的压痕应力

摘要

利用有限元方法及商用软件ANSYS,模拟薄膜/基体系统的楔形压头压痕脱层试验中的薄膜变形行为,研究了压头楔形角、压入深度、薄膜弹性模量以及薄膜屈服应力等参数对薄膜压痕应力分布的影响,给出了加载压痕应力计算公式.

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