大长-径比扫描探针在微结构形貌测量中的应用研究

摘要

研究基于自行研制的纯钨材质的大长径比扫描探针,并将其应用于某型号的表面形貌仪,对微流道和复杂微结构的表面形貌进行了精密测量试验,并与利用单晶金刚石探针的测量结果进行对照。研究结果验证了新研制的大长一径比钨探针形貌测量的功能,尤其在高深一宽比复杂表面形貌超精密测量方面的能力。