氧离子注入近化学剂量比铌酸锂晶体波导的特性研究

摘要

光波导是光纤通信技术的基础，利用平面光波导技术可以造出各种不同的集成光学器件。光波导的制备方法很多，现在实验上常用的也是最好的一种方法就是离子注入技术。铌酸锂晶体是一种优良的人工晶体，它具有很多重要的性质。与通常的同成分铌酸锂晶体相比，近化学剂量比铌酸锂在很多物理性质方面有了很好的改善，成为了现在研究的热点。