100型MEVVA源离子注入机

摘要

提高金属蒸汽真空弧（Metal vapor vacuum arc, MEVVA）离子源注入机的注入效率，大 幅度降低注入成本是MEVVA 源离子注入技术实用化的关键。为此设计研制了采用高占空比、大引 出面积、凸形高透过率引出电极等技术的100 型MEVVA 源注入机。本文介绍了100 型MEVVA 源注 入机的靶室结构和靶盘分布，100 型MEVVA 离子源的结构特点，测试了100 型MEVVA 源的主要参 数，通过靶盘公转自转、0°定位自转与45°定位自转的复合注入，得到了相当均匀的大面积注入 效果。从而为实现工业规模的金属离子注入提供了注入平台。