Ti-Al-N涂层的时效硬化及应用

摘要

用物理气相沉积(PVD)方法沉积的亚稳态面心立方结构c-TiAlN涂层在高温下转变为平衡相c-TiN和密排六方h-AlN,从而使涂层的机械性能急剧下降，由于h-AlN和c-TiAlN之间的晶格错配大,导致该转变发生需要大的形核功。此相变过程需要亚稳态的c-AlN作为中间过渡相来完成。本文研究表明:TiAlN涂层热处理时发生调幅分解转变为c-TiN和c-AlN,从而产生时效硬化；在900℃于真空下处理在硬质合金基体上采用阴极弧沉积方法制备的Ti34Al66N涂层可增加硬度,改善涂层刀片的切削性能。