多晶硅设备用炭/炭板材的研制

摘要

作为多晶硅领域的太阳能光伏产业,对多晶硅设备的需求量激增,铸锭炉和等离子辅助化学气相沉积(PECVD)炉中需要大量的炭/炭复合材料板材。本文在分析国内外多晶硅设备及所用炭/炭复合材料板材研究进展的基础上,开展了炭/炭板材的技术开发和研制,并与西格里(SGL)板材进行性能对比。研究结果表明,研制的炭板各项性能基本能达到国外的水平。