极高真空技术的发展

摘要

总结了极高真空(XHV，低于10-9 Pa的压力范围)获得和测量方法以及获得和测量极高真空的限制因素，描述了降低XHV系统器壁和元件(包括真空规或残余气体分析器)出气率采用的技术。