半導體廠外氣空調箱熱能回收循環系統節能分析

摘要

12寸半导体厂空调系统耗能占了全厂用电量的28％，而供应无尘室维持正压的外气空调箱系统，所占的耗能更占了整个空调系统耗能的42％，因此有效降低外气空调箱的能耗，成了各电子厂极重要的课题。因此本文研究在外气空调箱中预热盘管及再热盘管串接成一回路，并搭配一循环水泵运转，可有效的降低外气的焓值，降低预冷盘管的冷却负荷，而回收的热能又能当作再热盘管的再热使用，达到双重节能的目的。透过实际外气空调箱运转所纪录的数据分析，一座12寸半导体厂外气空调箱设置热能回收循环系统，每年可节省的电费可达320万元以上，为一有效的节能装置。