热偶计测量0.1Pa压力与温度关系初探

摘要

本文分析了热偶真空计在测量0.1Pa压力时所受的影响，重点分析了温度的影响，指出了热偶规校准温度与使用温度不同时，精确测量到0.1Pa时存在的误差，为实际工作中热偶计测量0.1Pa压力提供了借鉴。