利用辐射计测量半透薄膜的光学特性

摘要

随着光电技术的发展，各种光学半透明薄膜在实际中得到了广泛应用。光学薄膜的使用必须建立在光学特性（如透射率、反射率和吸收率）已知的基础之上。一般而言，对于半透薄膜透射率的测量比较简单，而对于反射率和吸收率的测量往往比较复杂和棘手。本文在总结前人研究薄膜光学特性测量经验的基础之上，通过分析光路在单层、双层以及多层薄膜间的传递过程，设计了一种利用辐射计有效测量半透薄膜光学特性的方法，测量简便、快速，可直接得到测量波段内薄膜的半球光学特性参数。在待测薄膜光学特性比较极端（透射率、反射率和吸收率其中之一很大或者很小）时，该方法仍然能够进行测量，并且透射率和反射率测量误差一般不超过6%。