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程芝峰; 徐跃民; 梁超; 丁亮; 鉴福升;
中国电子学会;
等离子体片; 微波反射特性; 抛物面天线; 仿真分析;
机译:低压,低温H-2-CH4-CO2微波等离子体的光谱研究用于大面积沉积纳米晶金刚石薄膜。 第二部分:血浆化学过程
机译:低压,低温H-2-CH4-CO2微波等离子体的光谱研究用于大面积沉积纳米晶金刚石薄膜。 第一部分:温度决定和精力量方面
机译:等离子体阵列传输和反射特性调查6GHz大功率微波
机译:用于等离子体辅助CVD金刚石合成和等离子体辅助燃烧的微波腔施加器的研究。
机译:绝缘直接合成大面积石墨烯微波等离子体CVD在低温下处理基板
机译:磁场微波等离子体CVD法研究Si(100)衬底上大面积金刚石的形核和生长
机译:气溶胶微波反射特性的研究
机译:用于大面积微波处理和大面积等离子体产生的线性扩展装置
机译:大面积微波等离子体设备,用于在其中维持基本均匀的等离子体
机译:大面积等离子体源和腔室外壳,包围大面积等离子体源内的等离子体区域
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