基于Si基MEMS技术的0.5THz单脉冲天馈系统的研究

摘要

本文研究了一种基于Si基MEMS工艺的，工作于0.5THz的单脉冲天线馈源。该单脉冲天线馈源由两个H 面喇叭天线和一个波导型平面和差网络，以及一段添加销钉的相位匹配波导组成。该天线的结构便于采用Si基MEMS干法刻蚀工艺制备。采用Si基MEMS工艺可以满足THz频段天线对加工精度的苛刻要求。完成了天线单元与和差网络的一体化仿真设计。所设计的单脉冲天馈系统具有电轴偏移度小，零深较低，双峰不平度较好等优点。