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王希; 何川; 马悦;
中国电子学会;
上海电子学会;
超大规模集成电路; 铜互连; 电化学沉积; 边缘效应;
机译:存在铜籽晶层时在势垒层Ta和TaN上的选择性铜沉积
机译:薄铜籽晶层上晶圆级镀铜的均匀性
机译:新型对置靶溅射法制备高质量的铜籽晶层薄膜技术
机译:通过在ECR等离子清洁的铜籽晶层上通过脉冲电镀沉积的铜膜上的退火进行再结晶
机译:研究了银(100)上沉积的铑,铜(100)上沉积的金和硅(100)上沉积的金的超薄膜的稳定性。
机译:铜籽晶层的晶粒取向对111取向纳米孪晶铜生长的影响
机译:单晶,超薄,均匀纳米粒子层的非真空沉积的突破:化学浴沉积和原子层沉积的更好替代方案
机译:单晶电极上超薄金属沉积物上阴离子的吸附。含有铜吸附原子的pt(111)和pt(poly)电极上硫酸氢盐吸附的伏安和放射化学研究
机译:铜布线生产包括在半导体层上形成中间绝缘层,形成接触孔和沟槽,沉积铜籽晶层,镀铜和化学机械抛光
机译:在阻挡层上沉积铜籽晶层的方法和镀铜浴
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