表面锥形梁结构引起的石英谐振器的频率漂移分析

摘要

本文研究了由表面锥形微梁阵列和石英晶体板组成的复合谐振器系统的厚度剪切振动问题.首先,从电弹性理论和Euler梁理论出发,建立了表面锥形微梁阵列/石英晶体谐振器复合系统的耦合动力学方程及其交界面条件.然后通过有限差分法,得到了系统的频率漂移随微梁弹性模量、微梁密度以及微梁长度的周期性变化规律,进而阐明了出现这些周期性变化特征的根本原因.