基于高精细腔技术的红外吸收光谱型气体传感器

摘要

对红外吸收型气体传感器的工作原理进行了分析,设计了一种基于高精细腔技术的红外吸收光谱型气体传感器。并对设计的传感器进行了实验验证,结果显示在通入浓度为20ppm的H2S气体时能达到40的信噪比,测量结果准确；在低浓度时测量有一定的偏差，测量的浓度波动小于3ppm。