非球面单镜检测热试验研究

摘要

本文研究了非球面热试验检测过程中影响面形误差变化的因素,从理论和实际的试验中得出了干涉仪、补偿器、被检非球面对热试验面形检测过程中影响的程度。从数据的结果表明,干涉仪、补偿器的影响很小,可以忽略不计,而被检非球面本身的热变形,以及热试验过程中本身与支撑结构的热涨不匹配是重要的影响因素。