两平晶互检法绝对检验测量不确定度研究

摘要

为了更好的满足科学研究和工程技术中对高精度光学平面的要求，多种平面绝对检验方法已经被提出，例如最早的是利用液面法实现绝对检验，后来又提出了Schulz方法、Fritz方法、奇偶函数法、旋转对称法等多种三面检验方法以及只需要两个平面的旋转剪切法、傅里叶变换法等。这些方法在实践中都得到了很好的应用，成为了光学平面高精度检测的重要途径。