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张奇; 任权; 靳鹏云; 韩立;
中国仪器仪表学会;
微悬臂梁; 传感技术; 品质因数; 制造工艺; 修饰技术; 控制技术;
机译:微悬臂梁作为气相传感平台:聚合物涂层多孔硅过硅微悬臂梁的生产的简化和优化
机译:基于对称电路的带有温度补偿的Poly MUMP的热敏微悬臂梁传感器,用于微流分析系统
机译:基于对称PolyMUMPs的具有片上温度补偿的压阻微悬臂梁传感器,适用于微流控应用
机译:使用基于微悬臂梁的传感器技术的微立体光刻技术制造聚HDDA微结构
机译:聚合物涂层和基于聚合物的微悬臂梁式化学传感器:分析和传感器信号处理。
机译:基于AlN的压电微悬臂梁作为黏度-密度传感器的屋面瓦形状模式的几何研究
机译:基于多模共振频移的振动微悬臂梁单传感器矢量触觉传感
机译:基于光学和微悬臂梁的传感器,用于高放废物的实时原位表征(81924)
机译:基于微悬臂梁的选择性挥发性有机化合物(VOC)传感器和方法
机译:基于共识的多压电微悬臂梁传感器
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