應用於高科技廠製程排水突發性污染處理之智能污染源追蹤研究

摘要

台湾高科技厂之制程排水即便已经执行了成效不错的排水分流管理，但在实务上仍会偶发突波污染源，导致无法满足科管局对高科技厂回收率达85％之要求，并增加自来水用量及废水处理费用之情况发生，因湿式清洗程序相当复杂，故难免完全避免制程排水突发污染状况之发生。传统突发性污染追踪方法，系以逐一机台进行采样分析与检视排误，相当耗时耗人力，故为提升污染源追踪效能，本研究研究一种低成本、省人力、简单快速的智能污染源追踪方法，以智能化判别技术与污染源判定演算法，达到制程污染源准确追踪之目的，以降低突发污染事故的损失。此系统系应用资料管理与演算分析之手段，将厂务端的水质资料搭配制程端的机台排水资料进行模拟演算，兹以作为厂务工程师进行排水突发性污染处理与管理之工具手段，经过系统效能验证，已证实本系统可有效应用於水中污染源追踪判别，於较长时间的追踪监控下，污染源辨识率可达99%以上，具高度可靠的污染源辨别功效。