Pirani真空变送器校准及测量不确定度分析

摘要

本文对Pirani真空变送器的测量和校准进行了研究。对Pirani真空变送器输出信号和真空度之间的函数关系进行了分析，得出了Pirani真空变送器输出信号示值误差与真空度示值相对误差之间的关系。建立了Pirani真空变送器的校准装置，并对某类型的Pirani真空变送器进行了测量，测量结果扩展不确定度U=0.046V(k=2)，对应于真空度示值相对误差δ不大于±10％。