电离规的新进展

摘要

电离规是测量高真空的主要真空规管，而在超高/极高真空测量领域，它是唯一实际可用的真空规。传统上将电离规划分为2种类型，即热阴极电离规和冷阴极电离规。在热阴极电离规中，电离电子源是一个发射阴极;在冷阴极电离规中，电离电子源是交叉电磁场中循环的空间电子电荷。近年来随着新型场致发射阴极在热阴极电离规中的应用，传统的划分方法不再清晰。国外的真空科学家对电离规进行了新的划分，即发射阴极电离规和交义场电离规。本文介绍了热阴极电离规和冷阴极电离规的研究现状、新型场致发射阴极在电离规中的应用、小型化电离规的发展。