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微压气体活塞式压力计的性能研究

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Furness Controls公司生产FRS5型微压气体活塞式压力计是低真空范围精度非常高又可以很方便操作的真空校准系统。本文对FRS5微压活塞的工作原理、特性以及所做的一些实验工作进行了详细的介绍。

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来源
《中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会》|2011年|296-302|共7页
会议地点成都
作者
于红燕; 王金库; 杨远超; 悦进;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TB772.1;
关键词
微压气体活塞式压力计; 真空校准系统; 性能评价; 测量不确定度;
入库时间 2022-08-17 10:22:35

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