真空设备密封性破坏试验装置的设计

摘要

本文讲述了为进行真空设备密封性破坏试验而设计的一套装置，该装置能够在真空设备上制造出漏率范围从5×10-6Pa·m3/s至1×10-2Pa·m3/s的漏孔，并且漏率可以实时、连续、准确的调节和随时进行标定，调节的漏率具有很好的稳定性，解决了此类试验的关键技术。