熔融石英沉积过程的数值模拟

摘要

石英玻璃广泛应用于各行业，但关于石英玻璃生产过程细节的描述及其三维数值模拟的资料较少。本文针对石英玻璃的生产过程，以立式沉积炉为研究模型，对二氧化硅气相沉积过程进行了数值模拟。文中考虑了流-固耦合模型、重力加速度、物性随温度的非线性变化、水蒸气的谱带吸收系数（UDF）等因素。数值模拟得出了温度场、速度场及相关组分的浓度场等结果。针对模型参数、气量参数进行了定量计算，讨论了其对沉积炉及石英玻璃坨子内部温度场的影响。