电子级CHF3的三级精馏方法

摘要

本发明提供了一种电子级CHF3的新型制备方法，包括：S1，在催化剂列管(105)由上而下通入HF与二氟一氯甲烷混合的反应气体，其中，所述HF与所述二氟一氯甲烷的比例为1.05～1.1:1；所述催化剂列管(105)包括活化催化剂颗粒，所述催化剂颗粒由8～10份重量的三氯化铬/活性炭复合物、50～70份重量的三氯化铝、2～5分重量的氯化镍、2～5份重量的氯化镁混合而成，且三氯化铬在所述三氯化铬/活性炭复合物中的含量为15～25wt％；S2，控制所述催化剂列管(105)上部温度220～230℃，中部温度245～255℃，下部温度230～240℃，反应压力0.05～0.2Mpa，停留时间40～80s，从而获得纯度98％以上的三氟甲烷粗产品；S3，将所述三氟甲烷粗产品经过水洗、碱洗、干燥以及精馏后，得到纯度99.9999％的电子级CHF3。