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电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化

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摘要

比较目前多晶硅生产中氯硅烷精馏的国内传统工艺和引进国外工艺;通过研究和借鉴,结合专家意见并进行模拟计算,设计和优化氯硅烷精馏工艺;简化流程,降低能耗,减少精制三氯氢硅中的杂质,从而提高多晶硅产品的品质.

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来源
《化工设计》 |2010年第3期|11-13,27|共4页
作者
周齐领; 张晓辉;
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作者单位

中国成达工程有限公司,成都,610041;

中国成达工程有限公司,成都,610041;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
多晶硅; 精馏工艺; 优化;

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