一种基于光栅多级衍射同步干涉实现多分辨率、多自由度干涉测量的系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于光栅多级衍射同步干涉实现多分辨率、多自由度干涉测量的系统及方法。创造性的提出了一种集成屏替代通常云纹干涉测量中的读数栅，实现了多级次衍射光的干涉实现和利用（限于激光功率较低、读数光栅固定的衍射角度限制，利用超过正负1级衍射光线进行干涉测量的情况较少），尤其有利于亚纳米级测量，因为，对于纳米级、亚纳米级精度测量时其稳定性往往不好，以不同的灵敏度（利用多级衍射光进行干涉测量）、多次同步复测综合判断尤为重要；另一方面，最近几年激光器制作技术有了很大发展，利用高级次衍射光进行干涉测量逐渐成为可能。