一种声子晶体声表面波温度传感器

摘要

本发明公开了一种声子晶体声表面波温度传感器。该声子晶体声表面波温度传感器包括：衬底；置于衬底上的双通道声表面波延迟线结构，双通道包括敏感通道和参比通道，每个结构包括发射极、声子晶体、接收极；参考通道上基于声表面波电极材料之上生长二氧化硅温度补偿层。发射极采用发散状指条结构，用于改善插损。设置的补偿层通道可以有效抑制环境中其他变量对温度造成的干扰。