Badania nad możliwością zastosowań kryształu niobianu litu w czujnikach temperatury z akustyczną falą powierzchniową

摘要

Przedstawiono wyniki pomiarów właściwości akustycznych fal powierzchniowych (AFP) w niobianie litu o orientacjach 128°YX i YZ w zakresie temperatur 20...500℃. Stwierdzono, że kryształ niobianu litu o orientacji 128°YX jest znacznie lepszy w porównaniu do kryształu orientacji YZ zarówno pod względem liniowości zmian częstotliwości jak i ze względu na małe zmiany tłumienności wtrącenia, i może znaleźć zastosowanie w czujnikach temperatury.%Results of measurements of surface acoustic waves (SAW) properties in lithium niobate crystal for 128°YX and YZ orientations, in a temperature range from 20℃ to 500℃, are presented. It was found that 128°YX orientation is much more interesting for applications in temperature sensors since it exhibits better linearity and lower insertion loss variation compared to the YZ orientation.