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机译:三乙硅烷前体通过远程氢微波等离子体CVD形成的非晶氢化碳化硅(a-SiC:H)膜的生长机理和化学结构:第1部分
film composition; film structure; RHP-CVD; silicon carbide film; triethylsilane precursors;
机译:三乙硅烷前体通过远程氢微波等离子体CVD形成的非晶氢化碳化硅(a-SiC:H)膜的生长机理和化学结构:第1部分
机译:双(二甲基甲硅烷基)乙烷-新型单源前驱体通过远程氢微波等离子体CVD生产的非晶态氢化碳化硅(a-SiC:H)涂层
机译:新型单源前驱体双(二甲基甲硅烷基)乙烷通过远程氢微波等离子体CVD生产非晶态氢化碳化硅(a-SiC:H)涂层? sup>
机译:用电子回旋谐振等离子体化学气相沉积制备氢化非晶碳化硅膜微观结构和光学性能的影响
机译:PECVD氢化非晶硅膜和HWCVD氢化非晶硅膜的质子NMR研究。
机译:感应耦合等离子体沉积在室内照明中实现高转化效率的低温生长氢化非晶碳化硅太阳能电池
机译:通过远程氢微波等离子体CVD由三乙基硅烷前体形成的非晶氢化碳化硅(a-SiC:H)膜的生长机理和化学结构:第1部分