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李明; 蔺增; 王凤; 巴德纯;
东北大学机械工程与自动化学院;
射频等离子体增强化学气相沉积; 含氢非晶碳膜; 结构; 摩擦学性能;
机译:衰老和热退火对PECVD生长氢化非晶碳氮化膜的振动和微观结构性能的影响
机译:射频溅射合成超薄非晶碳膜的纳米摩擦学和力学性能
机译:钛含量对掺钛非晶碳多层膜微观结构,力学性能和摩擦学性能的影响
机译:热处理对磁控溅射沉积非晶碳氮膜的结构,力学和摩擦学性能的影响
机译:氟化非晶碳(a-C:F(x))和氮化铝(AlN)膜的电性能。
机译:ZrO2纳米粒子改善非晶碳(a-C)涂层的摩擦学性能
机译:PECVD沉积的氟非晶碳膜的结构,机械,摩擦学性能和热稳定性
机译:长径比和sp2 / sp3含量对Ns掺杂pECVD生长碳膜场发射性能的影响
机译:在PECVD系统中提高非晶硼碳硬掩模工艺膜内颗粒性能的方法
机译:在可改善沉积非晶碳膜的匹配性能的凸起特征上沉积高度共形的非晶碳膜的方法
机译:非晶碳膜,非晶碳膜的制造方法以及涂覆有非晶碳膜的膜
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