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机译:氧等离子体参数对二氧化钛原子层沉积的影响
plasma enhanced atomic layer deposition; titanium dioxide; anatase; plasma parameters;
机译:氧等离子体参数对二氧化钛原子层沉积的影响
机译:氧源原子层沉积制备二氧化钛薄膜的X射线光电子能谱分析及退火效果
机译:等离子体增强原子层沉积与离散馈电方法的生长行为和薄膜性能
机译:通过等离子体增强的原子层沉积生长二氧化钛薄膜
机译:用于直接板衬和铜扩散阻挡层应用的钌-氮化钛混合相层的等离子体增强原子层沉积。
机译:通过等离子体增强的原子层沉积使用四甲基(二甲基氨基)钛(TDMAT)和四氯化钛(TiCl4)前体制备的锡薄膜的数据集
机译:血浆参数对血浆增强原子层沉积在100℃下血浆增强原子层沉积的超薄Al2O3膜性能的影响