摘要:在Ti合金上溅射沉积含2.7~12.3 at.%Ti的a-CNx薄膜。含钛2.7 at.% Ti的a-CNx薄膜显徽结构呈不稳定的非晶组织,而含钛12.3 at.%Ti的薄膜呈纳米复合结构。随着薄膜中钛含量的增加,Ti掺杂物的引入并与碳氮成键,倾向于替代sp3键以减少键角变形,sp2键的含量也逐渐增加。含钛非晶碳氮薄膜的硬度随Ti含量的增大而增加,在12.3 at.% Ti时达到28.4 GPa.薄膜的摩擦系数在0.11~0.14之间,比纯a-CNx薄膜低。在Troyde's模拟体液中电化学腐蚀测试表明含钛较小的a-CNx薄膜具有有效的抗腐蚀作用。