摘要:本文用磁控溅射技术在栅控行波管的栅网上涂覆铅膜,模拟行波管栅极结构利用加热阴极使其蒸发的方法在栅网上获得活性物质层,随后在模拟二极管中,分别测量了蒸发阴极活性物质(Ba和BaO)后的涂覆各种厚度铪膜和没有涂覆铪膜的铝栅网的伏安特性曲线,以判断不同厚度铅膜抑制栅放的能力。结果表明涂覆铪膜的铝栅网比没有涂覆铅膜的铝栅网的发射电流要小的多,可下降到原值的1/1000,随着铪膜厚度的增加其抑制栅放的能力在不断增强,但当铪膜增加到一定厚度后,其抑制栅放的能力基本稳定,不再随着厚度的增加而增强。经实验确认铪膜的最佳厚度为1.5-2μm。用涂覆铅膜的控制栅,装在我厂的S波段大功率耦合腔脉冲栅控行波管中,栅流由6-10mA下降到凡乎为零,它满足了耦合腔脉冲栅控行波管用户提出的指标要求,实践证明了采用该工艺的有效性。