高反射电介质多层膜折射率的测定

摘要

本文叙述和讨论了一种方法,根据这种方法,可以在生产过程中从多层膜的透射系数测定中,确定电介质薄膜的折射率,按这种方法获得 CaF2,Na3A1F6,MgF2,ThF4,PbF2,Sb2O3,ZnS 和 ZnSe（这些材料的各种组合）的折射率。结果,与文献中所给出的数值基本一致。只有在极疏松的基膜上（如在 CaF2薄膜）所淀积的膜层,折射率明显地偏小.由此可以推断,从底层向表层存在一定疏松度的过渡.