折射率逐渐变化的多层硅无反射膜及其制备方法以及具有该多层硅无反射膜的太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明涉及折射率逐渐变化的多层硅无反射膜及其制备方法，以及具有该多层硅无反射膜的太阳能电池及其制备方法，本发明的特征在于，通过将硅倾斜于半导体或玻璃基板上进行蒸镀，来调节硅薄膜的折射率，且通过利用变换倾斜角来层压为多层的多层硅膜，来体现折射率逐渐变化的无反射膜。并且，对硅太阳能电池适用本发明的多层硅无反射膜，因此具有能够抑制太阳能电池的内部的反射，并具有能够提供利用高传热系数的良好的散热特性的效果。