时间监控双离子束溅射沉积制备荧光滤光片

摘要

文章对中心波长为488nm、520nm、560nm和600nm的专用滤光片进行了研制,为保证通带高透过率的要求和对背景光的高效抑制,采用单基片进行膜系叠加的方法进行了组合带通滤光片的设计,并采用时间监控膜厚的双离子束溅射沉积薄膜技术进行了镀制,成功的制备出供生化仪使用的一系列荧光栅滤光片.