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时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜

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摘要

采用双离子束溅射技术、时间控厚方式制备波长532 nm绿光激光器用倍频波长分离膜.针对制备过程中产生的半波孔现象,在简单分析形成原因的基础上,采用分组厚度优化方式调整膜层厚度,从而制备出无半波孔的高品质倍频波长分离膜.为时间监控制备非规整膜系的厚度修正提供了一种切实可行的办法.

著录项

来源
《激光与红外》 |2007年第4期|370-372|共3页
作者
袁宏韬; 张贵彦;
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作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;

中国科学院研究生院,北京,100039;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;

中国科学院研究生院,北京,100039;

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正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;溅射;
关键词
倍频波长分离膜; 时间监控; 双离子束溅射; 半波孔;

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