MOEMS; MEMS; micro mirror; spatial light modulator; display; imaging; microlithography; adaptive optics;
机译:未掺杂和La-Nb共掺杂的基于PZT的微压电致动器的蠕变特性,适用于微光学调制器应用
机译:硅基微光学系统的低温键合
机译:基于硅模具技术的微光学元件
机译:硅基微光学调制器的多功能性
机译:开发用于病原体检测的通用硅基生物传感器平台。
机译:不饱和阴离子硅簇(硅酮)的分离和多功能衍生
机译:硅基微光学系统的低温键合