机译:基于硅模具技术的微光学元件
Institute of Micro/Nano Science and Technology, Shanghai Jiaotong University, 1954 Huashan Road, Shanghai 200030, China;
silicon mold; deep-RIE; FAB; replication;
机译:用蚀刻硅模制的非常规微光学元件的矩阵
机译:微型Schwarzschild物镜,不含主要像差的微光学组件:概念,设计和首次通过硅玻璃微加工实现
机译:微型Schwarzschild物镜,不含主要像差的微光学组件:概念,设计和首次通过硅玻璃微加工实现
机译:一种微光谐振器和耦合器的硅模具制造
机译:通过模具顺序多层电沉积技术实现的微氧化块和分布磁性MEMS系统
机译:基于MEMS光刻技术的微针阵列模具的制备
机译:用蚀刻硅模制的非常规微光学元件的矩阵