一种基于硅纳米片的激光脉冲调制器及基于该激光脉冲调制器的激光器

摘要

本实用新型涉及一种基于硅纳米片的激光脉冲调制器，硅纳米片激光脉冲调制器由硅晶体制得，包括衬底和沉积在衬底上面的硅纳米片材料。将硅纳米片激光脉冲调制器插入连续或长脉冲运转的激光谐振腔内，可以实现短脉冲激光输出。本实用新型硅纳米片激光脉冲调制器，具有以下优势：(1)硅纳米片材料具有对波长不敏感的特性，可实现对可见到红外波段激光的调制。(2)硅纳米片可由黏土制得，原料丰富，价格低廉，制作工艺简单，适于批量生产。(3)便于集成：可用成熟的工艺在衬底上制备成薄膜，实现从材料到器件的一体化设计和集成。本实用新型还涉及基于该硅纳米片的激光脉冲调制器的激光器。