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失效分析样品的制作方法及失效分析样品

摘要

本公开实施例公开了一种失效分析样品的制作方法。所述方法包括:提供待测管芯;其中,所述待测管芯包括相对设置的正面和背面,所述待测管芯的正面通过第一胶层与第一基板之间粘接;将所述待测管芯的背面通过第二胶层与第二基板固定连接;其中,所述第二胶层的固化温度小于所述第一胶层的熔化温度,所述第二胶层的熔化温度大于所述第一胶层的熔化温度;在所述待测管芯的背面粘接有所述第二基板后,分离所述第一基板和所述待测管芯。

著录项

  • 公开/公告号CN113030706B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-11-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 长江存储科技有限责任公司;

    申请/专利号CN202110269001.6

  • 发明设计人 王娟;杜晓琼;

    申请日2021-03-12

  • 分类号H01L21/66(20060101);

  • 代理机构11270 北京派特恩知识产权代理有限公司;

  • 代理人高洁;张颖玲

  • 地址 430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

  • 入库时间 2022-08-23 12:50:12

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