一种基于白光干涉零光程差位置拾取算法的微观形貌测量方法

摘要

本发明提供一种基于白光干涉零光程差位置拾取算法的微观形貌测量方法。一种基于白光干涉零光程差位置拾取算法的微观形貌测量方法，其中，包括如下步骤：S1.获取白光干涉模板曲线；S2.垂直扫描被测物体，采集干涉条纹，获取采样点；S3.用重心法或极值法快速粗定位零光程差点；S4.确定搜索范围，取零光程差点周围一定范围内若干个采样点作为待匹配点；S5.用待匹配点与模板曲线在搜索范围内进行匹配，得到精定位的零光程差点；S6.根据零光程差与形貌高度的相关关系得到精确的物体表面形貌的相对高度，进而重建被测物体的3D形貌。本发明算法简单，速度快，精度高，抗噪能力较强。